蒸发式冷却技术可可追溯至古代，那时河流、海洋、湖泊和池塘等等都是作为供水的方式被人们利用的。由于过去工业活动有限，加之水源丰富，冷却水用一次便被排掉，再从水域中取冷水。在工业厂址选择时，总要考虑有可利用的江、河、湖、泊作为冷却水的取水源和排放地或有可利用的巨大池塘或沟渠贮存、冷却、再循环或排放工艺或冷却用水。为了减少有效占地，在贮存水池中装设喷雾系统使池水充气，或将水喷在池子上使之与空气充分接触以冷却，后再发展形成喷水池技术。技术再发展便有了喷雾式冷却塔，人们发现将热水在一个箱喷射便可将热水冷却，这便是今天还有用的喷雾式冷却塔的雏形。后渐完善，又增加了空气流动机械设备，便有了带风机的喷雾式冷却塔。再后来人们为解决塔内水滴的下沉速度，在塔内添加了填料，这便是现代冷却塔的开始。随后有了机械通风逆流塔、横流塔、自然塔等。